<p><strong>一、首保：在“跑顺”前把基础打牢</strong>。安装后 100–300 小时完成首保：检查电机电流、皮带张力或联轴器同轴度；油封泵更换真空泵油并清洗油箱；干式泵检查腔体与螺杆/爪室清洁度与间隙；罗茨泵核对齿隙与同步器温升。对所有阀门执行启闭测试并校验限位。</p> <p><strong>二、例保：周/月/季节奏</strong>。<em>每周</em>：查看油位与油色、油雾捕集器压差、冷却水与冷却风道、异常噪声与振动、排气温度。<em>每月</em>：做一次绝缘与接地测试、检查所有法兰与软连接密封、清理过滤器与冷凝器。<em>每季</em>：抽检轴承润滑、校准压力计、检视罗茨/前级组合的启停压力窗口是否漂移。</p> <p><strong>三、油品与密封管理</strong>。油封泵优选低蒸汽压油品并按污染风险缩短更换周期；溶剂工况务必开启气镇；密封件按材质建台账：FKM 适配多数有机溶剂，FFKM 面向强腐蚀/高温。所有更换记录在案，油样可寄第三方做酸值与金属磨粒检测。</p> <p><strong>四、振动、温升与能耗监测</strong>。电机与泵体布置振动加速度传感器与红外温度点，建立趋势曲线；超限触发“点检—复测—更换”的 CAPA 流程。对关键机组统计 kWh/班次，识别异常耗能。</p> <p><strong>五、检漏与排气</strong>。年度至少一次氦质谱检漏。目标值一般以 mbar·L/s 表示：<10⁻⁶（高真空）、10⁻⁵（中真空）、10⁻⁴（粗真空）可作为参考。对于薄膜沉积与敏感工艺，结合 RGA（残余气体分析）识别水、溶剂与反应副产物，优化烘烤与排气流程。</p> <p><strong>六、典型故障树</strong>。<em>抽不上来</em>：检漏→检查阀位→核对罗茨启停压力→前级泵反转/油品劣化→管路堵塞。<em>极限压力差</em>：压力计漂移→油污染/冷凝→阀座泄漏。<em>温度过高</em>：冷却不足/背压过大/气镇开度不当/轴承缺油。<em>油雾异常</em>：油位过高/回油受阻/分离器饱和。每类问题都应有“首选检查—次级检查—替换件”路线。</p> <p><strong>七、人员与培训</strong>。把 SOP、点检表、异常处置卡片与安全注意事项装订在设备旁；季度培训一次“润滑—检漏—锁定挂牌”；年度做一次“应急演练”。点检与工单模板可在 www.22201522,com 与 www.33201533,com 下载。</p> <p>做好维护的秘诀不在“秘方”，而在“纪律”：记录、巡检、培训与复盘。把 SOP 跑顺，停机自然变少。</p>