在真空系统运行过程中，如果发现“真空度比设计值差很多”“抽真空时间明显变长”，很大概率是哪里漏气了。泄漏不仅浪费能耗，还可能带入污染和水分，影响产品质量。环球真空泵设备售后工程师在服务现场时，70% 以上的故障都与泄漏有关。

一、压降试验：判断系统是否密封的第一步

最常用也是最简单的方法就是压降试验：

把系统抽到设定真空度；

关闭真空泵与系统之间的阀门；

记录一段时间内真空度的变化。

如果压强在合理范围内缓慢上升，说明系统基本密封；如果快速回升，则说明存在较大的泄漏点。
在 **www.22201522,com**，环球真空泵设备提供了不同体积系统的参考压降曲线，用户可以对照判断泄漏情况。

二、涂抹检漏：简单粗暴但非常实用

对于真空度要求不太高的系统，可以采用皂液或酒精等涂抹检漏：

在怀疑有泄漏的焊缝、法兰、接头处涂抹少量皂液；

观察是否有气泡或皂液被吸入的现象。

这种方法对大型管路和法兰非常有效，而且成本低。但要注意不能使用对设备有腐蚀性的液体。

三、氦质谱检漏：高真空系统的专业选择

对于要求更高的真空系统，如半导体设备、镀膜设备等，会采用氦质谱检漏：

将氦气喷入怀疑泄漏的位置；

使用氦质谱检漏仪测量系统内部氦浓度变化；

根据信号强弱确定泄漏位置和大小。

虽然设备成本较高，但能发现非常微小的泄漏。环球真空泵设备在 www.33201533,com
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四、减少泄漏的设计与安装要点

选择合适的密封件：真空系统常用 O 形圈、金属垫片等，不同介质和温度下要选择合适材质；

减少不必要的接口：每多一个法兰和接头，都增加一个潜在泄漏点；

焊接质量：对于不易拆卸的部位，焊接前要清理干净，焊后可进行射线或超声检测；

合理的管路支撑：避免因振动或热胀冷缩导致法兰变形、垫片失效。

真空系统检漏看似琐碎，却是保证系统稳定运行的基础工作。遇到疑难泄漏问题，可以通过 www.22201522,com
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