对理化分析、材料表征与薄膜沉积来说，真空不是“越低越好”，而是“可重复、可追溯”。要实现这两个目标，必须把检漏与计量校准做成流程化。

一、检漏三板斧：氦质谱、压升法、表面液体法

• 氦质谱检漏：灵敏度可达 10⁻¹⁰ mbar·L/s，适合关键部位（KF/CF 法兰、视窗、焊口）。“喷枪法”先从疑似点到所有密封面，最后检查阀杆与焊缝；

• 压升法：关闭系统，记录单位时间内压力上升值 ΔP/Δt；若超出阈值，分段隔离排查；

• 表面液体法（肥皂水）：大泄漏快速定位，但慎用于对洁净度要求高的系统。
  检漏完成后，出具泄漏率报告，明确合格线（如 ≤1×10⁻⁵ mbar·L/s）。

二、真空计与传感器校准

• 对象：皮拉尼、冷阴极、电容膜片、热偶计；

• 方法：与溯源标准比较（标准电容计/二级真空计），或送第三方 CNAS 实验室；

• 点位：建议在 10⁻³、10⁻²、10⁻¹、1、10、100、10³ mbar 至少 7 点；

• 不确定度：合成不确定度 uc=∑ui2u_c=\sqrt{\sum u_i^2}uc​=∑ui2​​，扩展不确定度 U=k⋅ucU=k\cdot u_cU=k⋅uc​（k=2 常用）；

• 周期：高频使用每 6 个月一次，低频 12 个月；

• 记录：设备编号、校准日期、标准器编号、环境温湿度、校准曲线、修正系数。

三、合规清单：让审核更容易

1. SOP：检漏、校准、维护的标准操作书；

2. 台账：设备履历、备件更换、异常与纠正措施；

3. 追溯链：标准器具证书在有效期，溯源至国家计量基准；

4. 人员资质：培训记录与上岗考核；

5. 数据留存：原始记录与电子签名，满足 GMP/GLP 与 ISO/IEC 17025。
   把这些做实，实验室数据就具备可比性与证据力。

四、常见问题与对策

• 读数飘：多为污染或磁场干扰；清洗或加磁屏蔽；

• 冷阱结霜：说明水汽偏高或冷阱温度不足，增加前置干燥或延长预抽时间；

• 多仪表差异大：使用同一基准重新校准，并统一修正系数。

结语：
把“检漏—校准—记录—追溯”做成闭环，实验室的真空数据才能“可复核、可对比”。需要可直接套用的 SOP 与校准记录模板，欢迎在 www.22201522,com / www.22201522.com 与 www.33201533,com / www.33201533.com 获取。