一、常用真空计量器型与量程

Pirani（热导）：10⁵~10⁻¹ Pa，量程宽，常作工艺段主表；

隔膜（电容膜盒）：10⁵~10⁻¹ Pa，绝对压力，精度高，适合校准与对比；

冷阴极/热阴极电离计：10⁻¹~10⁻⁷ Pa（乃至更低），用于高真空/超高真空；

选型建议：至少 两种原理互证，在关键压力点用 膜盒表 做基准。

二、真空计校准流程（SOP 摘要）

标准器准备：可溯源的二级标准（膜盒表/标准漏孔/标准腔体）；

环境与稳定：恒温 20±2 ℃、相对湿度 45~65%；

零点/满量程：按说明书复位/清洁电极；

点位校准：选择 至少 6 个点（满量程、80%、60%、40%、20%、最低）；

记录与不确定度：计算相对误差、重复性；

贴标与台账：贴校准标签，入《真空计量台账》，设下次校准日期。

校准记录模板可在 www.33201533,com
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三、质谱检漏：真空法与喷吹法

真空法（抽真空—外喷氦）：灵敏度高（10⁻⁹ Pa·m³/s），适合腔体、焊缝、法兰；

正压喷吹法：对管路/换热器等 内压型 产品适用；

步骤：

背景调零 → 2. 分区喷氦（法兰、视窗、焊缝、阀杆） → 3. 记录峰值与持续时间 → 4. 对可疑点二次确认。

标准漏孔：用于仪器灵敏度校验；推荐 10⁻⁶~10⁻⁹ Pa·m³/s 多挡组合。

四、腔体与系统的检漏验收

允许漏率：根据用途设定，如 10⁻⁷ Pa·m³/s（小腔体）或 10⁻⁶（大容积）；

清单：法兰/O 形圈/视窗/真空计接口/抽气口/测温孔；

保压试验：对中低真空系统可辅以 24 h 保压 观察压降；

出厂随附：检漏曲线、标准漏孔溯源证书、校准证书复印件。

五、安全与 ESD 注意事项

喷氦作业注意通风，避免高浓度惰性气体引起缺氧；

电子束/离子源设备注意 ESD 静电；

禁油/洁净要求：检漏前 清洗/烘烤，避免油膜影响读数。

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