一、5 大故障树（节选）

达不到极限真空/抽不下去

泄漏：法兰/O 形圈/焊缝微漏；

管路电导偏低：弯头过多、管径偏小；

泵状态：叶片磨损、干泵间隙异常、分子泵转速不足；

检测：氦检漏定位，临时封堵法排除。

抽速明显变慢

前级泵性能衰减；

罗茨/分子泵联锁逻辑不正确；

过滤器、冷阱结霜/结焦堵塞；

工艺放气/溶剂负荷突然增加。

返油/油雾污染

油封泵油品老化或油面过高；

回气阀故障；

缺少油雾过滤或效率不足；

解决：更换高抗氧化油、加装高效油雾器、改为干式前级。

振动噪声

轴承磨损/不对中；

叶轮碰擦、异物进入；

基础不平整或共振；

处理：对中、动平衡、基础二次灌浆、橡胶减振。

过温/跳停

冷却水温度/流量不足；

油路堵塞、油泵失效；

通风不良、环境温度高；

解决：校核冷却回路、清洗油路、优化风道。

二、20 个点检项（按班次/周/季）

每日：压力表/真空计读数、温度/电流、噪声、油位、油色、泄漏痕迹；

每周：过滤器压差、冷凝器结霜、联锁动作测试、油雾器更换、阀门灵活性；

每季度：轴承温升趋势、振动谱、油品理化分析、电缆/接地检查、密封件老化、联锁校准。

三、油品与备件管理

油封泵：选 蒸汽压低、抗氧化强 的油品；

干泵：关注 间隙磨损件/密封圈/轴承组；

备件清单：轴承、密封件、过滤器芯、油泵/电机风扇、温度/压力传感器、O 形圈包；

建议以“备件周转周数”管理库存，结合 停机损失 制定安全库存。

四、预知性维护与智慧巡检

采集 振动、温度、功率、转速，绘制“健康曲线”；

结合“抽空曲线 + 极限真空趋势”判断性能衰减；

使用 二维码巡检与拍照留存，异常一键上报；

每半年组织一次 应急联锁演练：跳电、过温、过压场景。

下载 / 维保服务：
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