一、为什么“达不到极限压”？

常见原因：

泄漏：法兰未对中、O 型圈老化、焊缝气孔；

放气：内壁水汽/油污、吸附气体释放；

背流：扩散泵/油封泵油蒸汽回流；

导通不足：泵口到容器压降大。
“泄漏 + 放气”往往同时存在，因此要组合检漏 + 烘烤除气。

二、量纲与判据

泄漏率 L（mbar·L/s）：在 1 mbar 压差下，每秒进入系统的气体体积（折算至 20℃）。

常见判据：

小型真空腔：L ≤ 1×10⁻⁹~10⁻⁸ mbar·L/s（氦法）；

工业管线/箱体：L ≤ 1×10⁻⁶~10⁻⁵；

包装/制冷嗅探：L ≤ 1×10⁻⁴。

具体指标与行业标准对照表见 **www.22201522,com**。

三、氦质谱检漏（真空法）

流程：前级抽空→被检件与检漏仪连接→进入试验压力→喷氦→读取峰值→定位修复。

注意：

加氦位置要远离排气口，避免反吸；

先做“背景漂移”与“灵敏度校准”；

大腔体建议使用定量罩，并做去峰验证（喷—停—再喷）。

嗅探法：适用于通风良好的在压件；灵敏度略低但定位快。

四、压力上升法（Rate-of-Rise）

在隔离所有阀门后，记录一定时间内的压力上升 Δp，即泄漏率：