一、泄漏检测（10 条）
1）压升率法：隔离泵后测腔体压升，换算泄漏率；
2）卤素/氦质谱检漏：关键设备优先；
3）皂液与酒精检漏：低压段快速排查；
4）法兰垫片对称上紧、扭矩到位；
5）O 型圈选材与硬度匹配介质；
6）波纹管与快速接头疲劳检查；
7）真空阀杆填料老化；
8）视油镜、油封与放油口；
9）焊缝与铸件砂眼；
10）长期停机后第一次启动前做全线复核。

二、油品与过滤（8 条）
11）按 酸值/颜色/粘度/泡沫判定更换周期；
12）使用厂家推荐油品等级，混油前做兼容性测试；
13）高水汽工况必须开 气镇；
14）前级过滤器压差>0.06 MPa 需更换；
15）油雾分离器饱和会导致返油与排气污染；
16）放油前先暖机，完全排净；
17）油品储存防水防尘，桶盖回封；
18）换油后记录小时数与批次，便于追溯。

三、温升与振动（8 条）
19）轴承温升>95℃ 或比环境高 40℃ 必须排查；
20）风道/冷却水堵塞或流量不足；
21）皮带张力/联轴器同轴度偏差；
22）泵腔积垢导致摩擦与卡死；
23）润滑不足或油位过高都会升温；
24）异常噪声多与异物/轴承/齿轮磨损有关；
25）安装地脚与减震不当；
26）变频调速下的临界转速避开共振点。

四、真空度波动（6 条）
27）工艺气体波动+阀门动作；
28）仪表漂移或校准过期；
29）罗茨与前级不匹配；
30）冷阱/冷凝器结霜导致阻力增大；
31）压差开关或联锁逻辑错误；
32）泄漏与返油的叠加效应。

五、控制与电气（4 条）
33）缺相/过载/热继保护设定不当；
34）PLC 与阀联锁顺序不对；
35）紧停与停电复位流程；
36）安全附件（爆破片、止回阀、放空阀）定期试验。

年历保养（示例）

每周：油位、噪声、仪表稳定度；

每月：过滤器、皮带张力、风道清洁；

每季度：油品化验、轴承润滑、联轴器校正；

每年：大清洗、密封件整套更换、仪表溯源校准。
完整模板在 www.33201533.com
 / www.22201522.com
 下载。

结语：
把维护做成“制度 + 表单 + 记录”，真空系统就会稳定而可控。需要上门维保或远程诊断，欢迎通过两大域名联系技术支持。