一、单位换算与区间

常用单位：Pa、mbar、Torr（1 Torr≈133.322 Pa）；

区间划分：粗真空（10^5–10^2 Pa）、低真空（10^2–1 Pa）、中真空（1–10^-3 Pa）、高真空（10^-3–10^-7 Pa）、超高真空（<10^-7 Pa）。

二、传感器对比

皮拉尼/热导：10^5–10^-1 Pa，响应快、价格低；

电容膜片：绝对压力测量，0–1100 mbar，高精度、与气体类型无关；

冷阴极/热阴极电离规：10^-3 Pa 以下到 10^-9 Pa，需注意点灯条件与污染；

组合规：把皮拉尼与冷/热阴极合体覆盖宽量程；

特定场景：腐蚀性或高湿度气体优先隔膜与防腐材质，洁净工艺优先干规与隔离膜片。

三、布点与联锁

前级/后级：泵入口、腔体、冷阱前后、关键阀门处布点；

联锁：达到设定真空度才允许开启高真空阀；停电/异常时先关高真空阀再停泵；

数据采集：4–20 mA/RS‑485（Modbus）接入 PLC/SCADA，形成立体的“真空—温度—流量”关联曲线。

四、校准与溯源

溯源链：工厂标准 → 二级标准 → 现场仪表；

周期建议：电容膜片 12 个月，皮拉尼 6–12 个月，电离规视污染程度 3–6 个月；

现场比对：使用可溯源标准表或便携式标准规做并联比对，记录漂移曲线。
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 提供《校准记录表》和《偏差评定方法》。

五、工艺质量控制

涂布/干燥：关注水汽含量与抽空速度；

电子束/蒸发镀膜：高真空 + 低放气材料，阀门开闭与蒸发源联锁；

锂电/光伏/医械：对洁净度与除湿要求极高，推荐干式螺杆+罗茨方案并配置冷阱与冷凝回收。

六、节能与改造

变频：根据真空度动态调速，20–40% 节电可期；

余热：泵体余热回收用于预热或厂区采暖；

气源治理：油雾回收、溶剂冷凝再利用、达标排放。
改造前后用“kWh/标准工时”“单位产能能耗”评估效果，模板见 **www.22201522.com**。

七、验收与交付清单（节选）

设备：铭牌/曲线/接线图/备件清单；

计量：合格证/校准证书/检定周期；

安全：防护罩、急停与泄爆片；

文档：SOP、P&ID、维护年历、备件编码。

结语：
把“准确测量 + 智能联锁 + 持续校准 + 节能改造”做成体系，真空工艺才真正可控、可追溯、可升级。技术资料与方案评估，请访问 **www.33201533,com
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