一、锂电极片/电芯真空干燥

工艺特征：水汽负荷大、溶剂可燃、要求洁净，常在 10–1000 Pa 区间反复抽放。
推荐架构：干式螺杆前级 + 罗茨增压 + 冷凝器/冷阱。

螺杆泵耐蒸汽且免油，避免油雾污染电极；

罗茨把 100–10 Pa 段抽速抬高；

冷凝器回收溶剂并降温，减少泵负担；

安全：惰性气体吹扫，LEL 监测，联锁至排放系统。
控制逻辑：温度/腔压/时间三变量闭环；抽气与加热/保温/真空破坏分段；实现 PV 曲线对标。
维护要点：定期清洗螺杆腔体，油封与轴承按小时更换；冷凝器定期化霜与回收。

二、光伏/半导体镀膜（PVD）

工艺特征：对 高真空与洁净度 极为敏感，目标压力多在 10^-4～10^-6 Pa。
推荐架构：分子泵 + 机械前级（旋片或干泵） + 预抽罗茨；腔体与材料选用低放气材质。

分子泵需要快关阀与停电保护；

上游需 挡油阀与惰性气体清洗；

管路尽量短直、少死角；

传感器配置：皮拉尼 + 冷阴极/热阴极组合规。
关键指标：到达时间、极限真空、背景气体组成（H2O、N2、O2、Hydrocarbons）。
维护：定期烘烤、离子泵/分子泵清洁；具备 RGA（残余气体分析） 的更易诊断污染源。

三、医药冻干（Lyophilization）

工艺特征：低温（‑40～‑60℃）下升华，水汽量大，需满足 GMP 与数据完整性。
推荐架构：隔膜/干泵前级 + 冷阱/冷凝器 + 罗茨，以洁净无油为第一诉求；冷凝面负荷计算要充分。
阀组逻辑：舱门、冷阱、真空阀三方互锁；破真空采用无菌氮气；
验证与合规：DQ/IQ/OQ/PQ 全流程文件、传感器校准与数据追溯；
维护：冷阱化霜、排水与微生物控制，密封圈定期更换。

四、通用的“方案参数表”（节选）

目标压力/抽空时间/峰值气体负荷；

介质温度/腐蚀性/是否可燃；

允许回迁油与颗粒限值；

噪声、能耗与占地；

控制与通讯；

证书与法规要求（CE、GMP、ATEX 等）。
完整表格可在 www.33201533.com
 / www.22201522.com
 下载。

结语：
行业不同，系统就不同。先确认“气体与压力段”，再谈泵型与机组搭配，才能一次到位、稳定运行。