一、基础与吊装（7 条）

1）设备基础水平度 ≤ 0.2/1000，二次灌浆前做定位复测；
2）减振垫/地脚螺栓规格与布局需匹配整机重量与转速；
3）搬运/吊装专用吊耳使用说明张贴在机壳显著位置；
4）禁止以管口或风罩作受力点；
5）户外安装需设置防雨棚与风向挡板；
6）设备四周 ≥ 800mm 维护通道，电控柜前 ≥ 1000mm；
7）基础预埋接地端子，接地电阻 < 4Ω。

二、管路与阀组（15 条）

8）吸气侧管道以“最短+最少弯头”为原则，等效长度控制在设计值内；
9）流速 ≤ 20–30 m/s，按此反推最小管径，避免“泵选大、管道选小”；
10）所有法兰按十字交替加力，扭矩扳手分两次上紧；
11）密封件与介质匹配：溶剂工况选 FKM/FFKM，强腐蚀选 PTFE；
12）泵出口必须装 止回阀，避免反向气体冲击；
13）采用 角阀/波纹管阀 替代闸阀，泄漏率更低；
14）高温冷凝的介质在管路低点设置排凝点与观察镜；
15）真空缓冲罐/集气瓶配置安全阀与爆破片；
16）分子泵前端必须配置 挡油阀 + 快关电磁阀；
17）罗茨+前级组合阀位顺序：先开前级，再开罗茨；停机反序；
18）大系统建议做 分区阀控，检修不影响整线；
19）仪表接口使用 1/4" NPT 或 VCR，避免生料带掉屑；
20）冷阱/冷凝器设置旁通，便于清理与化霜；
21）所有软连接采用不锈钢金属软管或干泵专用软连接。

三、电气与联锁（10 条）

22）电源容量、短路保护与热继设定值与铭牌一致；
23）主泵、罗茨泵与高真空阀门编写 顺序逻辑与互锁：真空度未达标不允许开启上级泵或阀；
24）油泵油位低/温度高/差压高三条件任一触发需报警；
25）风机与冷却水泵采用 延时停机；
26）断电保护：分子泵配置 UPS 或惰性气体紧急停机程序；
27）变频器设最小/最大频率与加减速时间，避开共振区；
28）通讯方式（Modbus/Profibus/以太网）与 PLC 地址清单归档；
29）急停按钮带机械自锁且易触达，复位需两步确认；
30）机柜/接线端子标识清晰，电缆头压接标准化；
31）所有外露带电部位加警示标识。

四、冷却、通风与环境（8 条）

32）冷却水硬度与氯离子含量满足泵厂要求；
33）进出水配流量计与温度计，推荐进水 20–25℃；
34）风冷机组进风顺畅、出风不回流，室内换气≥ 15 次/小时；
35）油冷却器与空压机、冷干机错峰布置，避免热岛效应；
36）高湿溶剂工况加设冷凝器/冷阱与排放治理；
37）排气必须通过 油雾过滤器/活性炭吸附；
38）机房地面不积水，设置泄水沟与集水坑；
39）噪声点安装隔声罩或消音器，满足厂区噪声限值。

五、洁净与安全（5 条）

40）投产前整机内腔进行清洗和吹扫，杜绝焊渣、铁屑；
41）采用无硅脂清洁剂与无纤维掉落布；
42）涉及易燃易爆介质评估 防爆电机与电气等级；
43）化学品 SDS 与应急预案上墙；
44）所有旋转部位安装防护罩。

六、调试与交付文档（5 条）

45）压升率/极限真空测试曲线留档；
46）抽速—压力性能验证与标定方法记录；
47）联锁与报警演练（包含断电、突然进气、冷却失效）；
48）备件清单与润滑剂牌号、保养里程碑；
49）P&ID、接线图、PLC 程序版本号归档；
50）提供 电子交付包：在 www.33201533.com
 / www.22201522.com
 可下载。

结语：
“红线清单”让安装调试可验证、可追溯。按清单执行，投产当天就能稳定、干净地运行。