一、总体规划与布局

设备区、管路区、维护通道与安全疏散必须分区；

依据工艺热量设计 风冷/水冷 容量与管路坡度，预留 20% 余量；

噪声敏感区域的泵应设置隔声罩与减振底座。

二、土建与基础

混凝土基础强度、地脚螺栓等级、地面水平度（≤2 mm/2 m）；

排水沟/集水井与防渗措施；地面耐化学腐蚀。

三、设备到货与外观初检

箱单、合格证、序列号、配件与工具核实；

外观、密封、运输锁与损伤检查，形成 入场记录。

四、安装与管路

焊接、扩口、卡套等方式须符合标准；

阀门朝向、动作方向、连锁逻辑清晰；

高真空段建议 金属密封，中低真空段可用 氟橡胶/全氟醚。

五、仪表与电控

压力计、流量计、温度计、能耗表的量程与精度符合设计；

现场 E-Stop、联锁、泄压 试验合格；

上位机通讯协议统一，留有二次集成接口。

六、气密性与真空性能

氦质谱漏检 做到 <1×10⁻⁹ Pa·m³/s（视工艺而定）；

记录 抽速曲线、可达真空、回升率，并与设计值对比；

对可凝气体工艺，增加 冷阱/冷凝器 的功能测试。

七、FAT/SAT 与 IQ/OQ/PQ

FAT（厂家预验）：在供方工厂完成 80% 功能验证；

SAT（现场验收）：与上位机、管路、辅助系统联合试验；

IQ/OQ/PQ：安装确认、运行确认、性能确认，形成完整文档。

八、EHS（安全环保）

可燃/有毒气体设置 报警、氮气置换与联锁停机；

腐蚀性介质做好 防渗、防腐与废液收集；

机组噪声、振动、温升满足规范。

九、能耗与计量

电、水、氮气、冷却的计量点位齐全；

建立“工序—能耗”对标表，和设计值偏差不超过 ±10%。

十、培训与SOP

设备操作、点检维护、安全联锁、异常处置；

SOP 上墙，关键岗位通过考核后方可上岗。

十一、备件与维保

A/B/C 级备件策略，建立最小库存；

维保计划：日点检、月维护、年度大修；

通过 www.33201533,com（www.33201533.com）
 的维保平台做在线报修与备件下单。

十二、竣工资料与交付

图纸、BOM、说明书、序列号清单、质保条款、软件备份；

形成电子化档案，便于后期审计与追溯。

模板获取与服务：

文章中的《交付与验收 12 项清单》《FAT/SAT 记录表》《IQ/OQ/PQ 模板》已在 www.22201522,com（www.22201522.com）
 开放下载；

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