一、先把“极限真空、工作真空、气体种类”说清楚

极限真空：泵或系统在某一温度下能达到的最低压力，是泵型差异的重要指标。

工作真空：满足工艺所需的稳定压力区间；很多工艺对“压力波动 ±x Pa”有明确限制。

气体种类：水蒸气、溶剂、有机挥发物、腐蚀性气体与粉尘，会直接影响泵型选择与管路材质。

典型泵型：

干式螺杆 / 爪泵：耐腐、适合含溶剂与水蒸气的工况，维护间隔长；

旋片泵（油封）：成本低、维护易，但可能产生返油与污染；

罗茨泵：与前级泵级联提升抽速，适合中真空快速抽空；

分子泵/涡轮泵：高真空/超高真空核心设备，需前级泵配合。

二、10 个计算步骤：从气负荷到能效

步骤 1：列出工艺气负荷

工艺放气（材料脱附、水分）：Q₁

漏气（O 形圈、焊缝微漏）：Q₂

回流与放气（油雾、溶剂）：Q₃

总气负荷：Q = Q₁ + Q₂ + Q₃（Pa·m³/s）

步骤 2：确定目标压力与稳定时间

目标工作真空 Pₑ，允许稳定时间 t，决定抽速冗余。

步骤 3：估算抽气速率 S
从简公式：