以“工艺—负载—材料—洁净—安全—数字化”六步法做顶层设计，并配抽速计算与验收清单

从 0 到 1 建一套“好用、可审、易维护”的真空系统——规划与选型全流程

时间：2025-10-26

　一、工艺画像：把“要做什么”说透

真空等级：粗/中/高真空目标值与波动容忍度；

节拍类型：连续负载还是脉动负载？是否存在“短时大抽速”需求；

洁净与回油：是否允油？是否需要油蒸汽捕集与洁净室兼容；

介质与安全：是否含腐蚀性气体或可燃气体，是否涉及防爆/防泄漏。
结论落到一页《工艺需求表》，作为后续一切计算与比选的“唯一真相”。

二、负载与抽速：系统好不好，算账见分晓

腔体容积