真空泵如何一次选对?从工艺需求到系统匹配的全流程选型指南
时间:2025-11-01
在半导体封装、锂电涂布、真空干燥、蒸镀、真空包装以及化工脱气等场景中,真空的稳定性直接影响良率与安全。选型做对 70%,系统匹配做对 30%,两者缺一不可。环球真空泵设备结合大量项目经验,给出一套通用的“四步法”。
第一步:明确工艺边界(What & Why)
先把工艺“画像”:
目标真空等级:粗真空(10³~10² Pa)、中真空(10²~10⁻¹ Pa)、高真空(10⁻¹ Pa 以下,需分子泵/扩散泵配合);
抽气对象:空气还是含溶剂蒸汽、粉尘、腐蚀性气体;
工作节拍:持续抽吸还是间歇抽空,是否需要快速抽空/快速放气;
洁净要求:是否允许油雾/返油,是否必须无油干式;
安全约束:防爆、防腐、溶剂回收、环保排放。
这些会直接决定泵型大方向与后处理配置。
第二步:算清抽速与管路(How much)
抽速不是“越大越好”,要与腔体体积、漏气/放气、负载气量相匹配。经验做法:
1)按抽空时间