一、技术条款（建议写入招标文件）

1）极限真空与抽速曲线：提交第三方或工厂测试报告，曲线分 10 个压力点给出误差带；
2）可处理气体与载气成分：明确水汽/溶剂/腐蚀性气体的处理能力与材料配置；
3）背流/洁净等级：对光学/半导体类工艺要求油背流与颗粒控制指标；
4）能效指标：在目标压力段给出单位抽量能耗（kWh/m³·h）；
5）噪声与振动：按 GB/T 3767/50490 等标准给出数据；
6）控制与通讯：支持 Modbus/Profibus/Profinet，预留远传接口与数据点表；
7）安全与防护：防护等级、过温/过载/缺相/低压保护，防爆需求注明等级；
8）材质与防腐：泵腔、密封件、管路材质清单；
9）冷却与供电条件：冷却水范围与压差、用电质量（谐波/功率因数）；
10）备品备件：首年易损件清单与建议库存；
11）维修可达性：检修空间、拆装工时、专用工具清单；
12）质保与服务：质保年限、响应时效、驻场与培训方案。

二、商务与交付（避免“到货不符”）

生产序列号与铭牌信息：与合同一致；

关键零部件清单：电机/轴承/密封/控制器品牌与型号；

出厂检验报告：含真空曲线、温升、噪声、绝缘耐压、泄漏率；

运输/包装：防倾倒/防潮/防震标签完整，随机资料齐全。

三、现场安装与调试

1）基础与找平：地脚强度、减振垫、同轴度；
2）管路：口径、弯头半径、阀件 Kv、止回与旁通策略；
3）电气：电缆规格、接地、VFD 参数、互锁；
4）联动试车：记录首周“到位时间、稳定度、能耗”。

四、8 条验收标准（量化）

1）目标压力达压时间 ≤ 合同值；
2）保压稳定：±规定值内持续 1 小时；
3）单位产量能耗（kWh/10kpcs）≤ 合同值；
4）噪声、振动、温升 ≤ 标准限值；
5）泄漏率 ≤ 规定阈值；
6）报警联动与远传数据点测试通过；
7）易损件与工具齐备，培训签到与考核通过；
8）资料归档：说明书/图纸/电气程序/试车报告/合格证/保修卡。

五、LCC（全生命周期成本）模型与评分建议